项目名称:原子层沉积系统
采购单位:pg模拟器试玩入口官网
采购方式:询价
成交单位:元于科技(北京)有限公司
成交价格:298000元
购买数量:1套
产品型号:YT-ALD150
评审日期:2022年7月19日
主要技术参数:
1. 主机
1.1 标准6 英寸原子层沉积系统
1.2 2路前驱体源,包括管路、高温ALD阀门、50ml 源瓶,2路均为加热源
1.3 沉积自动控制系统
1.4 沉积程序控制软件
1.5 预装Windows 的笔记本电脑
2. 选配前驱体源:包括管路、加热套、高温ALD 网门、50ml 源瓶(最高可配6路前驱体)
3. 真空机械泵系统:机械泵与相关管路
真空机械泵型号:北仪优成TRP-6
公示时间:2022.7.20-2022.7.26,如有异议请拨打64253334向王伟老师反映